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Harrick 擴展型等離子清洗機PDC-002

產品簡介：

Harrick Plasma是國際一流的等離子清洗器生產商，在業內已經有三十多年的經驗。他所生產的小型等離子清洗器結構緊湊、質量可靠、價格合理；廣泛地被大中院校、科研機構、企業研發機構和實驗室采用。其產品主要應用在材料科學、高分子科學、生物醫藥材料學、微流體研究、微電子機械系統研究、光學、顯微術、牙科醫療等領域中的污染物清除、表面活化、粘合前處理、表面化學改性、聚合物移植或表面涂覆等方面。該產品能處理塑料、生化材料、PDMS、玻璃或金屬半導體、陶瓷、復合材料、高分子聚合物等材料，并對所處理的材料表面帶來表面超潔凈、殺菌、提高濕潤性轉變、表面性質改變、提高結合力等處理效果。

基本參數：

主要特征：

臺式設計，結構緊湊精致

低、中、高三檔可調節功率，**可為30W

設備輻射小，安全環保

· 外形尺寸：11"H x 18"W x 9"D（279mm x 457mm x 228mm）

· 重量：20.0kg

· 輸入電源：220 V / 50Hz

· 輸入功率：200 W

· 功率檔：

低檔716V DC、10mA DC、7.16W

中檔720V DC、15mA DC、10.15W

高檔740V DC、40mA DC、29.6W

· 常用工作氣體：

空氣、氬氣、氮氣或混合氣體等

· 基本配置：

直徑6英寸，長6.5英寸的耐熱玻璃艙體。

可拆卸艙蓋。

含磁力鎖和可視窗的鉸鏈艙蓋。

**為30W的RF線圈。

1/8英寸NPT針閥

1/8英寸NPT三通閥

· 選配件：

石英等離子清洗艙

石英托盤（用于放置樣品）

氣體計量混合器Plasma FloTM

· 周邊設備：

基本型專用真空泵（PDC-VPE-2）

可選件：

· 選件一：氣體計量混合器PlasmaFloTM

功能及配置簡介：

1、Harrick PlasmaFloTM氣體計量混合器是一臺可任選的以滿足客戶的不同需求的備件。主要應用于樣品的表面改性。

2、在等離子清洗過程中氣體流混合和壓力監視。

3、為向艙內注入兩種氣體提供了可能。

4、含兩個標準的氣體流量計(1.0 SCFH & 2.0 SCFH)

5、溫差電偶真空度表測量艙內壓力

6、適用氣體：空氣、氮氣、氬氣或混合氣體。

7、尺寸：8 1/2"H x 10"W x 8"D

8、訂貨號：PDC-FMG-2

· 選件二：真空泵

Harrick等離子清洗需要使用*小1.4 m3/hr (0.83 cfm)，壓力為200 mTorr (0.27 mbar)的真空泵。

PDC-VP-2 (220V)

抽真空速度(50/60 Hz): 3.2/3.6 m3/hr

極限壓力(氣鎮關)：1.5 mTorr

極限壓力(氣鎮開)：23 mTorr

電機功率：(50/60 Hz): 250/300 W

重量: 34 lbs

尺寸: 9"H x 15"W x 5"D

· 選件三：石英等離子清洗艙及托盤