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海德堡Heidelberg高級大型2D,3D直寫光刻機DWL 8000

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深圳市藍星宇電子科技有限公司

德國

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產(chǎn)品介紹

海德堡Heidelberg 高級大型2D,3D直寫光刻機DWL 8000

大面積瞄寫系統(tǒng):DWL 8000

搭配海德堡的精密軟件控制可以讓您在大面積范圍中,也可以瞄寫2維和3維圖形的DWL 8000系列,是針對微光學領(lǐng)域的2維和3維的微構(gòu)造形式所制作。

對于激光圖形生成器,MEMS,Displays 和sensors 都有加寬,加高的設(shè)計。DWL 8000精確的溫度控制,動態(tài)的焦點追蹤,closed loop位置決定,確保**布置和完全覆蓋性的直寫范圍。

DWL 8000多年的經(jīng)驗累積,使Gray Scale曝光技術(shù),可以更有效率于更小的系統(tǒng)上直寫更大的區(qū)域范圍。在使用高分辨率技術(shù)掩模板上,使用曝光強度經(jīng)過調(diào)整的激光,可在連續(xù)表面上形成1個復雜的3維樣式。

主要功能:

。*小描繪尺寸:0.7um

。*小直寫尺寸:20nm

。5種描繪模式

。可轉(zhuǎn)換成自動描繪模式

。進階3維繪畫方式

。里測/校直用照相機系統(tǒng)

。選擇線上(Online)傳送繪畫數(shù)據(jù)

。自動基板加載系統(tǒng)

。多種多樣的繪畫數(shù)據(jù)輸入格式(DXF,CIF,GDSLL,Gerber,STL)

。Stage Map補正

。Edge detectof unit

應(yīng)用范圍:

。Micro-optics

。MEMS

。Display

。Micro-sensor

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海德堡Heidelberg高級大型2D,3D直寫光刻機DWL 8000

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