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AFIXX 20m手動系統

臺式系統設計用于手動將單個基板臨時粘合到剛性載體或其他載體上。適用于非常薄的易碎基材和柔性塑料材料。專為實驗室開發的臨時粘合技術。這是一個多功能系統，非常適合許多R＆D應用程序。AFIXX 20m配備有加熱板，可將載體或基材加熱到200℃。

特點：

適用于圓形晶圓片或方形基片；

基片尺寸：**到直徑200mm（直徑8英寸）或150x150 mm（6 x6英寸），圓形晶圓片可選：直徑300毫米（直徑12英寸）；

帶加熱板，**200℃；

適用于非常薄的易碎晶圓（<40 um）和柔性塑料材料；

激光標記可準確對準晶圓和載體；

手動調節水平；

與硅，化合物和玻璃材料兼容；

專為研發和小批量生產而設計；

應用：

將基材臨時粘合到不同類型的載體上：

基板上的基板

玻璃載體上的基板

藍寶石載體上的基板

陶瓷載體上的基材

不同的粘合劑，例如：

蠟＞通過熱處理激活

粘合劑>受溫度和溶劑的影響，活化

產品參數：

基板尺寸：**直徑200mm（直徑8英寸）或150x 150 mm（6 x 6英寸）

設備外殼：PP材質

工作臺表面：微拋光不銹鋼和陽極氧化鋁材質

電源：230（110）VAC / 1Phase/ N / PE / 50（60）Hz

真空：-0.8 bar / -600 Torr，管外徑8 mm，內徑6 mm

控制臺：350x 350 x 372毫米（13.8 x 13.8x 14.6英寸）

加熱板模塊：350x 411 x 207毫米（13.8 x 16.2x 8.2英寸）

主營產品：

Laurell勻膠機

Harrick等離子清洗機

Thetametrisis膜厚儀

Microxact探針臺

ALD原子層沉積系統

TRION反應離子刻蝕機

Uvitron紫外固化箱

NXQ紫外曝光光刻機

Novascan紫外臭氧清洗機

Nilt納米壓印機

Wenesco/EMS/Unitemp/NDA加熱板

Annealsys高溫退火爐

Kinematic程序剪切儀

Laurell EDC系統，濕站系統

Wabash/Carver自動壓片機