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岡本OKAMOTO SiC碳化硅/GaN氮化鎵晶圓減薄拋光一體機

GNX200BP

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一橋半導體科技（蘇州）有限公司

日本

產品規格型號
參考報價：

面議

型號：

GNX200BP

關注度：

107

產品介紹

GNX200BH

1、GNX200BH是一臺可研磨超硬材料的全自動減薄設備，采用大功率主軸和高剛性鑄件，可以大幅縮小加工公差。

2、GNX200BH在應對SiC碳化硅晶圓、GaN氮化鎵晶圓等新型堅硬材料為原材料的晶圓減薄/研磨/研削時表現優秀。    

性能參數

項目GNX200BH
主軸雙研磨主軸，主軸剛性比200B強兩倍
工作盤三個工作盤
晶圓材質碳化硅、氮化鎵、硅、玻璃、微機械系統、等…
主軸電機功率6.7KW
設備尺寸（本體）1350 W x 2550 D x 1845 H（mm）
設備尺寸（真空泵）397 W x 755 D x 612 H （mm）
設備重量本體 4300 Kg ; 真空泵 100 Kg

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岡本OKAMOTO SiC碳化硅/GaN氮化鎵晶圓減薄拋光一體機

GNX200BP

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