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瑞士Swisslitho 3D納米結構高速直寫機NanoFrazor

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深圳市藍星宇電子科技有限公司

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瑞士Swisslitho 3D納米結構高速直寫機NanoFrazor

-源自IBM**研發(fā)成果

NanoFrazor納米3D結構直寫機的問世,源于發(fā)明STM和AFM的IBM蘇黎世研發(fā)中心,是其在納米加工技術的**研究成果。NanoFrazor納米3D結構直寫機**次將納米尺度下的3D結構直寫工藝快速化、穩(wěn)定化。

NanoFrazor采用尖端直徑為5nm的探針,通過靜電力精確控制實現(xiàn)直寫3D高精度直寫,并通過懸臂一側的熱傳感器實現(xiàn)實時的形貌探測。相對于其他制備技術如電子束曝光/光刻技術(EBL), 聚焦離子束刻蝕(FIB)有以下特點:

3D納米直寫能力

高直寫精度 (XY: 10nm, Z: 1nm)

高速直寫 20 mm/s 與EBL媲美

無需顯影,實時觀察直寫效果

形貌感知靈敏度0.1nm

樣品無需標記識別,多結構套刻,對準精度 5nm

無臨近效應

高分辨,高密度納米結構

無電子/離子損傷

高性能二維材料器件

區(qū)域熱加工和化學反應

多元化納米結構改性

大樣品臺

100mm X 100mm

新產品發(fā)布:NEW!! NanoFrazor Scholar --小面積直寫

3D納米直寫能力

高直寫精度 (XY: 30nm, Z: 1nm)

高速直寫 10 mm/s

無需顯影,實時觀察直寫效果

形貌感知靈敏度0.1nm

樣品無需標記識別,多結構套刻,對準精度 10 nm

無臨近效應

高分辨,高密度納米結構

無電子/離子損傷

高性能二維材料器件

區(qū)域熱加工和化學反應

多元化納米結構改性

小樣品臺

30mm X 30mm

該技術自問世以來已經(jīng)多次刷新了世界上*小3D立體結構的尺寸,創(chuàng)造了世界上*小的馬特洪峰模型,*小立體世界地圖,*小刊物封面等世界記錄。

獨特的直寫與反饋流程

PPA(聚苯二醛) 直寫膠涂敷在樣品表面。

背熱式直寫探針,微區(qū)電阻式加熱針尖。與針尖接近的PPA受熱瞬間分解,周圍部分由于PPA熱導率低而不受影響。

熱針震動模式直寫,直寫時探針加熱,每次下針幅度受靜電力控制,垂直精度 1 nm,從而寫出3D圖形。

冷針接觸模式掃描,回程掃描時探針冷卻,由側壁的熱感應器探測樣品高度變化(精度0.1nm), 獲得樣品形貌。反饋數(shù)據(jù)修正下一行直寫。

獨有的直寫針尖設計

普通的AFM針尖無法滿足上述NanoFrazor直寫流程的需求,因此NanoFrazor所用針尖是由IBM專門研發(fā)設計的。該針尖具有兩個電阻加熱區(qū)域,針尖上方的加熱區(qū)域可以加熱到1000oC。 第二處加熱區(qū)域作為熱導率傳感器位于側臂處,其能感知針尖與樣品距離的變化,精度高達0.1 nm。因此在每行直寫進程結束后的回掃結構時,并不是通過針尖 起伏反饋形貌信息,而是通過熱導率傳感器感應形貌變化,從而實現(xiàn)了比AFM快1000余倍的掃描速度,同避免了針尖的快速磨損消耗。

NanoFrazor技術特點

其他功能

● 納米顆粒有序定位排列

● 納米局部化學反應誘導

● 表面化學圖案、結構生成納米顆粒有序定位排列

氧化石墨烯的定位還原

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