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Semiconsoft MProbe Vis膜厚測試儀

讓你成為測量專家 ！

大部分半透明的或具有輕微吸收性的薄膜能夠被快速、可靠的測量：氧化物、氮化物、感光耐蝕膜、聚合物、半導體(Si， aSi，polySi)、硬涂層(SiC， DLC)， 聚合物涂料 (Paralene，PMMA，聚酰胺)，薄金屬薄膜等。

MProbe系統(tǒng)

厚度范圍: 15 nm-50 um

波長范圍: 400nm -1100 nm

LCD， FPD應用: ITO， 細胞間隙，聚酰胺。光學涂層: 介質濾波器，硬涂層，防反射涂層半導體和電解質: 氧化物，氮化物， OLED堆

實時測量和分析。各種多層次的， 薄的，厚的，獨立和不均勻層。

豐富的材料庫 (500多種材料) – 新材料容易增添。Cauchy， Tauc-Lorentz， Cody-Lorentz， EMA 等

使用靈活: 可聯(lián)網(wǎng)在操作臺桌面或現(xiàn)場進行研究與開發(fā)。

用TCP或Modbus接口能容易的和外部系統(tǒng)連接。

測量參數(shù)：厚度、光學常數(shù)、表面粗糙度。

界面友好強大: 測量和分析設置簡單。

實用的工具：仿真和靈敏度分析，背景和縮放修正，連接層和材料，多樣品測量，動態(tài)測量和生產批量處理。

測量300 nm 硅氧化膜 測量與模型數(shù)據(jù)擬合

主要參數(shù)

從硅晶片原反射比。信號**（16位）。

積分時間：10ms

測量500nm AlN. 測量參數(shù)：厚度和表面粗糙度。 換算系數(shù)應用到正確的距離以改變配置。