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儀器簡介：

Talysurf CCI三維非接觸形貌儀采用CCI（**技術的相干相關算法）干涉原理，可高精度測量表面形貌、表面粗糙度及關鍵尺寸，并計算關鍵部位的面積和體積。主要應用于數據存儲器件，半導體器件，光學加工以及MEMS/MOEMS技術以及材料分析領域。

技術參數：

(1) 類型： CCI 干涉（相干相關干涉）

(2) 分辨率： 0.1 A

(3) 測量點數： 1，048，576 ( 1024 x 1024 點陣 )

更詳細參數和有關應用問題請垂詢辦事處產品負責人。

主要特點：

•**的相干相關算法

•0.01nm分辨率

•10-20秒測量時間

•RMS重復性：0.03A