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BRAVERY 3000

光調制反射晶圓檢測系統

BRAVERY 3000 是具有巨大市場價值的新型晶圓缺陷檢測設備，其采用光調制反射技術，可實現對晶圓的非接觸、無損傷、在線、快速、內部檢測，精準診斷與定位晶圓缺陷，該產品對有/無圖案晶圓均適用，可填補當前國內市場離子注入工藝非接觸檢測設備的國產化空白，實現晶圓注入質量特性檢測量產化。

產品特點

非接觸非破壞性

有/無圖案晶圓皆適用

可作為在線檢測設備

無需測前與測后處理，超快檢測速度

軟件檢測操作簡單

主要應用

各種離子注入及退火工藝的質量監控

刻蝕等工藝對晶圓損傷的質量監控

產品優勢

自研產品，可定制化

可自動生成wafer map等可視化數據