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YD24系列下游壓力控制器

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遼寧冠華半導體有限公司

遼寧

產品規格型號

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品牌：

遼寧冠華

型號：

YD24系列下游壓力控制器

關注度：

281

產品介紹

YD24 系列(壓力控制器/流量計)是一款應用于半導體等高端工藝制程的壓力測控產品，

基于壓力式傳感器技術，控壓精度可達到±0.05%F.S.，

產品制造各項技術指標均嚴格按照SEMI標準執行，

可在任何工藝點對任何氣體(包括選定的腐蝕性氣體)進行遠程傳感壓力控制，

被廣泛應用于半導體制造領域的沉積、刻蝕、熱處理、離子注入等設備中。

下游控壓，適用 1000torr 以下壓力控制范圍，精度可達±0.05%F.S.

快速響應<100ms，金屬密封，電拋光表面光潔度適用于高純度工藝應用

可定制多種通訊模式、機械接頭

適用于半導體等多種高端工藝制程

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YD24系列下游壓力控制器

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