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基于X射線的晶圓級抗輻照電路測試系統(tǒng)是由深圳市易捷測試技術有限公司設計開發(fā)。采用10keV X射線作為輻射源開展效應試驗，不僅易于實施，節(jié)省資金，在器件封裝前即可對器件的抗輻射水平給出評估，是一種可行的評估器件總劑量水平的手段。

10keV X射線輻射源系統(tǒng)可以用于完成：

• 特定結構器件的基本輻射響應分析

• 用過實驗結果跟蹤給定工藝的加固情況

• 迅速提高批量生產(chǎn)的芯片的加固情況反饋。

相對60Co γ射線輻射源而言，基于X射線的晶圓級抗輻照電路測試系統(tǒng)體積小，占地面積小，適合于實驗室與工廠的生產(chǎn)線上使用，而且操作簡單，調節(jié)方便，通過面板進行參數(shù)設置與操作，可精確控制輻射劑量率，且可調輻射劑量率范圍較大。設備安全性好，儀器周邊的輻射量與普通環(huán)境無差別。