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美國SVT生產(chǎn)型MBE

SVT 擁有20年MBE設(shè)備制造與革新的經(jīng)驗。

MBE是半導(dǎo)體材料和器件生長的主要研究制造技術(shù)。

SVT 的MBE設(shè)備提供超高真空環(huán)境，可以精確制備各種薄膜結(jié)構(gòu)，包括超高k電解質(zhì)，光電子器件，高能通訊器件，以及其他應(yīng)用器件。

SVT正不斷提高M(jìn)BE系統(tǒng)的性能，并為客戶開放新材料提供更大便利。

35V14 MBE是生產(chǎn)型的MBE系統(tǒng)，并可以加工超大尺寸樣品。

此系統(tǒng)可以加工**14''的樣品，

并配有大容量的源以及RF6.0生產(chǎn)型Plasma源。

可用于指標(biāo)氧化物、氮化物、As化物等。