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工作原理

使用1個(gè)電流源通過串聯(lián)加熱兩組燈絲組，每個(gè)燈絲組有21個(gè)燈絲位置，允許一次對21個(gè)位置進(jìn)行去氣，也可連續(xù)依次對2組燈絲（42個(gè)）進(jìn)行去氣。設(shè)備的工作程序設(shè)定和設(shè)備的操控采取平板電腦觸摸屏的方式。

技術(shù)指標(biāo)

?輸入電源：220 VAC（±10%），50-60 Hz

?輸出能力：0-150 V / ******15 A（電流控制精度±50 mA）

?控制系統(tǒng)：Intel Celeron J1800處理器，2GB SRAM，支持RS485通信

真空保護(hù)

?啟動閾值：≤ 5×10?? mbar（自動觸發(fā)去氣流程）

?異常終止：≥ 5×10?? mbar（自動暫停去氣流程）

高效去氣模式

?支持自定義燒帶流程，可設(shè)定電流值（如閃燒電流≤4.8 A）及間隔時(shí)間，程序文件斷電后仍可保存。

智能監(jiān)控

?通過平板電腦觸摸屏實(shí)時(shí)顯示真空度、燈絲電流/電壓、分子泵轉(zhuǎn)速等

關(guān)鍵參數(shù)

?尺寸：68 cm（長）× 62 cm（寬）× 150 cm（高，打開腔室時(shí)）

?重量：80 kg（不含前級機(jī)械泵）

?輸入電源：220 VAC（±10%），50-60 Hz

運(yùn)行環(huán)境

?溫度：10-35℃

?濕度：30%-90%（無冷凝）

?海拔：**3000米

安全與保障

?緊急電源切斷開關(guān)，支持快速斷電

?真空腔體高溫防護(hù)罩，防止?fàn)C傷

質(zhì)量保障體系

?認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)：ISO 9001/CE雙認(rèn)證

?老化測試：72小時(shí)連續(xù)高溫真空測試

?泄漏控制：年泄漏率＜0.5%（氦質(zhì)譜檢測）

服務(wù)支持

交付周期：10-12周（含定制化調(diào)試）

技術(shù)支持：24小時(shí)診斷響應(yīng)

數(shù)據(jù)服務(wù)：操作日志自動生成（溫度/電流/真空度時(shí)間序列）