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電子回旋共振等離子體（ECR）系統(tǒng)

電子回旋共振等離子體（ECR）系統(tǒng)

直接聯(lián)系

成都華宇東升微波設(shè)備有限公司

四川

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價：

面議

品牌：

華宇東升

型號：

電子回旋共振等離子體（ECR）系統(tǒng)

關(guān)注度：

911

產(chǎn)品介紹

性能特點：

?具有無熱陰極、電離度高的特點

?具有可忽略放電室壁的散射的特性

?能在低真空度下工作

?設(shè)備性能穩(wěn)定，使用壽命長


主要技術(shù)參數(shù)：

微波源輸出功率

260W － 1500W
極限真空度≤5×10-5Pa·m3/s
氣體質(zhì)量流量控制多路
工作氣壓1Pa - 200Pa
磁場強度0 - 1000高斯可調(diào)
偏壓0V - 300V


產(chǎn)品咨詢

電子回旋共振等離子體（ECR）系統(tǒng)

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電子回旋共振等離子體（ECR）系統(tǒng) - 911
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