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應用于半導體集成電路高溫和沉積設備中， 在晶圓高溫工藝和沉積工藝過程中，Si injector是將化學氣體輸入設 備內部的關鍵部件，是晶圓高溫和沉積環節所必需的核心部件。

技術優勢

1、采用一體鉆孔工藝/SiFusion工藝 

2、可實現孔徑3 -14mm、任意長度的定制加工 

3、原材料純度高

4、表面金屬離子殘留達到硅片處理工藝所要求

5、相同熱膨脹系數