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產(chǎn)品介紹：

可放置8時(shí)、12時(shí)硅襯底，用于生長硅基半導(dǎo)體用器件

適用機(jī)型：

Epsilon 2000 等同系列機(jī)臺(tái)

產(chǎn)品參數(shù)：

基材：等靜壓石墨(純度 >6N)
涂層：β-SiC(厚度=100±10 μm)
特點(diǎn)：致密度高，耐高溫耐腐蝕，涂層結(jié)合力強(qiáng)

使用壽命：和進(jìn)口同款產(chǎn)品相當(dāng)

湖南聯(lián)合半導(dǎo)體科技有限公司
· 公司成立于 2021年
· 主要產(chǎn)品:石墨、SiC和TaC涂層石墨成品
· 包含研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和服務(wù),
· 為半導(dǎo)體和LED行業(yè)提供零部件。