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氧化鎵(III)，即三氧化二鎵，是鎵的氧化物中zui穩定的。在空氣中加熱金屬鎵使之氧化或在200-250℃時 焙燒硝酸鎵、氫氧化鎵以及某些鎵的化合物都可形成Ga2O3. Ga2O3 有五種同分異構體：α，β，γ，δ，ε，其中zui穩定的是β-異構體，當加熱至1000℃以上或水熱條件（即濕法）加熱至300℃以上時，所有其他的異構體都被轉換為β-異構體。可采用各自不同的方法制得各種純的異構體。