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硅片刻蝕清洗自動(dòng)上料機(jī)

應(yīng)用：

硅片刻蝕清洗上料機(jī)是將硅片承載盒中自動(dòng)放置刻蝕清洗機(jī)上的設(shè)備。部件采用防腐工藝處理，保證在惡劣環(huán)境下設(shè)備長壽命、高可靠性運(yùn)行。該機(jī)與市場其他上料機(jī)的**不同是：設(shè)備具有硅片擴(kuò)散面與非擴(kuò)散面自動(dòng)識(shí)別系統(tǒng)，對(duì)需要翻面的硅片自動(dòng)完成翻面過程。

特點(diǎn)：

• 產(chǎn)能≥3400片/小時(shí)，實(shí)際產(chǎn)能（非額定）根據(jù)客戶需求定制設(shè)備

• 具有硅片擴(kuò)散面與非擴(kuò)散面自動(dòng)識(shí)別系統(tǒng)，對(duì)需要翻面的硅片自動(dòng)完成翻面過

程

• 識(shí)別準(zhǔn)確率：99.99%

• 具有疊片檢測功能

• 具有破片檢測及剔除功能