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拋光主軸**轉(zhuǎn)速 6000rpm/min；拋光主軸具備中心出水功能；拋光主軸連接口 HD25；拋光主軸徑向跳動(dòng)≤3um。X 軸行程 550mm，X 軸行走平行度±6um/550mm，X 軸定位精度±9um/300mm ，X 軸重復(fù)定位精度 5um，Z 軸行程 350mm，Z 軸行走平行度±6um/350mm，Z 軸定位精度±9um/350mm，Z 軸重復(fù)定位精度 5um 。C軸**轉(zhuǎn)速 150rpm/min；C軸端面跳動(dòng)≦0.003mm；C軸 徑向跳動(dòng)≦0.003mm。