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>300mm硅片拋光設備

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300mm硅片拋光設備

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浙江芯暉裝備技術有限公司

浙江

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面議

品牌：

芯暉裝備

型號：

300mm硅片拋光設備

關注度：

186

產品介紹

技術參數

基本規格	· 尺寸：3.8 米（長）x3.2 米（寬）x2.7米（高） · 重量：13 噸
設備構成	· 拋光加工單元（8 軸，3Steps，粗拋 /中拋 / 精拋） · 拋光液供給單元 · 搬送單元（Robot）
**加工尺寸	· φ 300mm
加工方式	· 干進，濕出
加工能力	· 3 套拋光盤，同時高效加工 6 片（2x3）
生產能力	· ≥ 28 wafers /hr

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技術參數

基本規格

· 尺寸：3.8 米（長）x3.2 米（寬）x2.7米（高）

· 重量：13 噸

設備構成

· 拋光加工單元（8 軸，3Steps，粗拋 /中拋 / 精拋）

· 拋光液供給單元

· 搬送單元（Robot）

**加工尺寸

· φ 300mm

加工方式

· 干進，濕出

加工能力

· 3 套拋光盤，同時高效加工 6 片（2x3）

生產能力

· ≥ 28 wafers /hr

· 拋光加工單元（8 軸，3Steps，粗拋 /中拋 / 精拋）

· 干進，濕出

· 3 套拋光盤，同時高效加工 6 片（2x3）