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晶圓隱裂外觀檢測設備(ADS)

晶圓隱裂外觀檢測設備(ADS)

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浙江芯暉裝備技術有限公司

浙江

產品規格型號
參考報價：

面議

品牌：

芯暉裝備

型號：

晶圓隱裂外觀檢測設備(ADS)

關注度：

16

產品介紹

產品型號

  • 晶圓隱裂外觀檢測設備-ADS

應用場景

  • 成型、拋光

檢測缺陷

  • 隱裂、崩邊、劃傷、線痕、化學臟污

檢測精度

  • 隱裂：30μm、正反面：20um；

產能

  • 185 WPH@300mm

產品特點

  • 隱裂檢、高產能、低過檢、ADC

晶圓種類

  • Ф6″、Ф8″、Ф12″（尺寸可定制）






















適用于成型、拋光工藝段，應用明場及紅外檢測原理進行無圖形晶圓的正反面及內部無法肉眼觀測的隱裂缺陷檢測，具備崩邊、劃傷、線痕、化學臟污、隱裂等微小缺陷的檢出能力

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晶圓隱裂外觀檢測設備(ADS)

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浙江芯暉裝備技術有限公司

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