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晶圓表面及邊緣檢測設備-SEDI

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浙江芯暉裝備技術有限公司

浙江

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品牌：

芯暉裝備

型號：

晶圓表面及邊緣檢測設備-SEDI

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產品型號	晶圓表面及邊緣檢測設備-SEDI
應用場景	清洗、成型、拋光
檢測缺陷	Particle、劃傷、崩邊、裂紋、Cloud、Pit、邊緣缺陷 Particle：0.2μm；邊緣1.25μm；Scratch：
檢測精度	100um × 0.1um；Cloud：400μm ×400μm
產能	85 WPH@300mm
產品特點	微粒檢測、缺陷分布、不良分類、ADC
晶圓直徑	Ф6″、Ф8″、Ф12″（尺寸可定制）

產品型號	晶圓表面及邊緣檢測設備-SEDI
應用場景	清洗、成型、拋光
檢測缺陷	Particle、劃傷、崩邊、裂紋、Cloud、Pit、邊緣缺陷 Particle：0.2μm；邊緣1.25μm；Scratch：
檢測精度	100um × 0.1um；Cloud：400μm ×400μm
產能	85 WPH@300mm
產品特點	微粒檢測、缺陷分布、不良分類、ADC
晶圓直徑	Ф6″、Ф8″、Ф12″（尺寸可定制）

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