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200mm硅片研磨設備

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浙江芯暉裝備技術有限公司

浙江

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品牌：

芯暉裝備

型號：

200mm硅片研磨設備

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基本規格	尺寸： 2.8 米（長）x1.2 米（寬）x2.2 （高）重量：4.5 噸
設備構成	研削主軸（2sets）清洗干燥單元背面清洗單元搬送單元（Robot）
**加工尺寸	φ 200mm
加工方式	干進，干出

基本規格	尺寸： 2.8 米（長）x1.2 米（寬）x2.2 （高）重量：4.5 噸
設備構成	研削主軸（2sets）清洗干燥單元背面清洗單元搬送單元（Robot）
**加工尺寸	φ 200mm
加工方式	干進，干出
加工能力	同時高效加工2 片
生產能力	≥ 30 wafers /hr

基本規格	尺寸： 2.8 米（長）x1.2 米（寬）x2.2 （高）重量：4.5 噸
設備構成	研削主軸（2sets）清洗干燥單元背面清洗單元搬送單元（Robot）
**加工尺寸	φ 200mm
加工方式	干進，干出
加工能力	同時高效加工2 片
生產能力	≥ 30 wafers /hr

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200mm硅片研磨設備

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