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金屬污染物M-SPEC系列

直接聯(lián)系

浙江芯暉裝備技術(shù)有限公司

浙江

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品牌：

芯暉裝備

型號(hào)：

金屬污染物M-SPEC系列

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產(chǎn)品介紹

金屬污染物M-SPEC系列

Full Automatic in Line System

Detection Limit: ~1ppt

Time to data: 30min ~ 1hrs

Detector: ICP-MS

Throughput: 3-6 per hour

自主研制的晶體生長、研磨拋光、光學(xué)量測、化學(xué)檢測、芯片測試等設(shè)備，已廣泛運(yùn)用于半導(dǎo)體集成電路制造的前、中、后道。

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金屬污染物M-SPEC系列

浙江芯暉裝備技術(shù)有限公司

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