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EM81系列超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡

EM81

直接聯(lián)系

北京中科科儀股份有限公司

北京

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價:

面議

品牌:

kyky

型號:

EM81

關(guān)注度:

2445

產(chǎn)品介紹

KYKY-EM81系列超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡

一、產(chǎn)品簡介

KYKY-EM8100高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡,采用鏡筒加速技術(shù)、低像差錐形物鏡等全新電子光學設(shè)計,能夠在低電壓下實現(xiàn)亞納米級的成像效果,對各類材料具有廣泛的適用性,能夠滿足多種科研和工業(yè)領(lǐng)域的測試需求。

 

01.png 

 

二、產(chǎn)品特點

亞納米級分辨率

低像差錐形物鏡

大束流

自動化控制系統(tǒng)

超大樣品倉

鏡筒加速技術(shù)


三、技術(shù)參數(shù)

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四、產(chǎn)品功能

1、二次電子探測器

高信噪比,高帶寬 · 大景深,表征樣品表面形貌結(jié)構(gòu)

 

2、不同探測器同時成像

· 顯示SEBSE 雙通道圖像

· 可任意設(shè)置不同探

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· BSE探測器,反應樣品表面的成分特征

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3、陰極熒光成像

 

4 大圖拼接

· 樣品區(qū)全域視場矩陣自動規(guī)劃,拍照流程無需人工干預

· 百千張級數(shù)據(jù)量快速拼接實時預覽,構(gòu)建全域清晰掃描大圖

圖片3.png 

 

5 粒度分析

采用深度學習的復合圖像處理算法,自動識別比例尺,精準識別圖像中的顆粒,多種形態(tài)參數(shù)的統(tǒng)計與導出,

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摻鋁碳酸鈷

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多種形態(tài)參數(shù)結(jié)果

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多種形態(tài)數(shù)據(jù)輸出

 

6 關(guān)鍵尺寸測量

具備距離,角度,水平線/垂直線/圓徑測算等,豐富的圖像測量功能

圖片7.png 

 

五、定制能力

1、電子束曝光(EBL

功能:基于掃描電鏡的電子束曝光系統(tǒng)(EBL),能夠精確地控制電子束的掃描路徑和能量沉積,從而實現(xiàn)高分辨率的圖形曝光。該系統(tǒng)采用先進的電子束掃描控制技術(shù),支持靈活多樣的圖案設(shè)計和精確控制,不僅具有電子束曝光功能,還保留了原SEM 的觀測功能,這使得用戶可以在同一臺設(shè)備上完成樣品的觀測和加工,提高了工作效率和便利性。

參數(shù):*小束斑 優(yōu)于5nm;  探針電流 1pA~20nA;  線寬 優(yōu)于15nm

應用場景

科研教學、微電子制造、原型器件開發(fā)、納米材料制備、生物醫(yī)療研究

應用案例

二維周期陣列結(jié)構(gòu)加工

50nm線寬/周期200nm光柵結(jié)構(gòu)

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60nm直徑點陣周期結(jié)構(gòu)

圖片9.png 

 

聲表面波碳納米管諧振器耦合器件

圖片10.png 

 


場效應晶體管電極

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2、真空互聯(lián)

真空互聯(lián)掃描電鏡用于對樣品車傳遞過來的產(chǎn)品進行自動檢測,分析其表面晶粒形態(tài)大小分布等信息,評估其薄膜的膜質(zhì)量情況。

真空互聯(lián)系統(tǒng)可以在真空狀態(tài)下對樣品進行預處理,并傳遞到掃描電鏡內(nèi)進行觀測.

自動檢測和反饋系統(tǒng),對樣品標簽、位置狀態(tài)、樣品交接進行監(jiān)控和記錄,可以清晰的了解樣品傳輸狀況。

圖片12.png 

3、激光聯(lián)用-超快電鏡

功能:

超快電鏡利用激光、電場等外界刺激使樣品達到激發(fā)態(tài)。使用時間延遲可調(diào)的另一束激光作用于電鏡燈絲,產(chǎn)生脈沖電子束照射于樣品表面進而收集表面逸出的二次電子對激發(fā)瞬態(tài)進行表征。

 

掃描電鏡電子槍及發(fā)射陰極改造

改造后的電子槍 

1)激光入口 ;

2)探測激光引入示意圖,與電子束方向呈一定角度夾角;

3)從激光入射口可見陰極工作時的發(fā)射狀態(tài)。

圖片13.png 

 

應用領(lǐng)域

超快結(jié)構(gòu)動力學,新型光場隱含物態(tài)調(diào)控、自由電子量子光學等。



產(chǎn)品咨詢

EM81系列超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡

EM81

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