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碳化硅晶錠滾圓

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西安晟光硅研半導體科技有限公司

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碳化硅晶錠滾圓

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產(chǎn)品介紹

微射流激光(LMJ)技術(shù)的“溫和”加工方式滿足敏感的半導體材料的切割、開槽和打孔的日益增強的質(zhì)量要求,達到光滑垂直的切邊、保持材料的高晶圓斷裂強度并顯著降低破損風險。

性能

熱損傷區(qū)幾乎可以忽略不計每小時加工費用是傳統(tǒng)加工技術(shù)的55%良品率超過99%

人力成本是目前的1/10

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