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氮化鋁原料提純爐ANET920系列
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南京晶升
氮化鋁原料提純爐ANET920系列
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◆ 設(shè)備采用全金屬保溫系統(tǒng),可靠的密封設(shè)計(jì)可有效降低晶體中的碳和氧元素含量;
◆ 分段式鎢網(wǎng)加熱器溫度梯度可控,周向溫度均勻性好;
◆ 多種測(cè)溫方式相結(jié)合使得測(cè)溫精度高;
◆ 自主開(kāi)發(fā)的溫度、壓力控制系統(tǒng),可兼容多種溫度、壓力控制模式,滿足不同長(zhǎng)晶工藝的需求。
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