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SCG300系列半導體級單晶硅爐

SCG300系列半導體級單晶硅爐

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南京晶升裝備股份有限公司

江蘇

產品規格型號
參考報價:

面議

品牌:

南京晶升

型號:

SCG300系列半導體級單晶硅爐

關注度:

900

產品介紹

◆ 設備具有高穩定性、高真空度、高可靠性的結構設計;
◆ 配備自主研發的功率控制、鎖拉速等生長控制算法;
◆ 熱場系統具有高水平微缺陷控制能力;
◆ 配合水冷套、超導磁場及基礎工藝包;
◆ 生長晶體可滿足COP-FREE硅片指標要求。

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SCG300系列半導體級單晶硅爐

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