粉體行業在線展覽
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FT-SRS1200
直接聯系
上海漢虹精密機械有限公司
上海
面議
FT-SRS1200
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采用電阻加熱和改進的自蔓延高溫合成法，
合成可用于單晶生長的高純SiC粉料的設備。
可提供半定制化服務
高真空
腔體內壁經鏡面拋光，減少氣體附著；
各表面嚴密結合，避免產生泄露；
大抽速泵體，實現快速抽空功能；
高密封性閥體，實現長時間的真空保壓。
高精密
高精度數控加工部件；
精密傳動部件；
高品質電控系統；
實現運動系統的高精度控制，重復定位無偏差。
全自動
自主開發系統，實現全自動過程；
兼容各種工藝操作流程；
操作權限分級，減少誤動作；
自主研發異地網絡遠程監控SiC操作系統——安全，可靠，便捷，實現無人值守遠程控制。
碳化硅原料合成爐(100~150kg,電阻式)
晶體尺寸 100 ~ 150kg
工藝 SHS
加熱方式 電阻式
基本參數 主機尺寸 W3150 x D1850 x H4780mm
整機重量 約5T
支持系統 電 源 容 量 280kVA
電 壓 380VAC±10%, 3P, 50/60Hz
冷 卻 水 壓 力 0.3 ~ 0.5MPa
流 量 ＞250L/min
工藝氣體 壓 力 ＞0.2MPa
壓縮空氣 壓 力 0.5 ~ 1.0MPa
