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氮化硅粉體燒結爐

氮化硅粉體燒結爐

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湖南維尚科技有限公司

湖南

產品規格型號
參考報價:

面議

品牌:

維尚科技

型號:

氮化硅粉體燒結爐

關注度:

1872

產品介紹

產品介紹

高端氮化硅粉體燒結爐具有H2安全保護、防竄氣技術 、多段溫度曲線設定,多種氣體流量自動精準控制(無需人工調節)、脈沖式充氣、氣體循環控溫、發熱體衰減檢測、發熱體漏電監測、全面故障自診斷功能。主要用于高端氮化硅粉料的生產

產品參數

裝料空間(W*H*L)500*500*1800
**溫度1600℃
**工作壓力0.9bar
極限真空度0.5pa
真空泄漏率≤5×10-3 mbarl/s
真空泵組旋片泵+羅茨泵
升溫速率
(滿載、≥1500℃)
≥8℃/min
溫度均勻性≤±4℃
具備功能真空燒結、靜態燒結、氣氛燒結、急速冷卻
工藝氣體種類H2  N2  Ar


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氮化硅粉體燒結爐

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