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單腔立式外延爐

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杭州晶馳機(jī)電科技有限公司

浙江

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

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品牌：

杭州晶馳

型號(hào)：

單腔立式外延爐

關(guān)注度：

1027

產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品詳情

1、相較現(xiàn)有立式外延爐有更低的硬件成本,更小的占地面積;

2、兼容4/6寸晶圓外延生長(zhǎng),成膜質(zhì)量好,可實(shí)現(xiàn)厚外延層快速生長(zhǎng)；

3、更長(zhǎng)的維護(hù)周期,更低的耗材成本；

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單腔立式外延爐

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單腔立式外延爐 - 1027

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