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HON-N-S/W/VVV系列氮?dú)饧兓?/p>
面議
科立恩
HON-N-S/W/VVV系列氮?dú)饧兓?/p>
73
系列 Series | 雜質(zhì) Impurity | 入口 Inlet(ppm) | 出口 Outlet(ppb) |
HON-N-S/W/VVV | O2 | <3 | <1 |
H2 | <1 | <1 | |
CO | <1 | <1 | |
CO2 | <1 | <1 | |
THC | -- | -- | |
H2O | <3 | <1 | |
PARTICLES | -- | ≤10pcs/m3, 0.003μm | |
Pressure Drop | <1bar | ||
Flow | 10~20000Nm3/h |
工藝介紹:
物理吸附脫除CO2、H2O 、H2,化學(xué)吸附脫除O2、CO雜質(zhì)。
吸附反應(yīng)器吸附飽和后可通氫加熱再生,反復(fù)使用。
多柱交替吸附、再生,可連續(xù)供氣。
應(yīng)用領(lǐng)域:
集成電路制造行業(yè)
半導(dǎo)體、LED、激光、太陽(yáng)能光伏行業(yè)
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HON-N-S/W/VVV系列氮?dú)饧兓?/p>
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