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>HON-CO2-S/W/VVV系列二氧化碳純化器

HON-CO2-S/W/VVV系列二氧化碳純化器

HON-CO2-S/W/VVV系列二氧化碳純化器

直接聯(lián)系

大連科立恩氣體凈化科技有限公司

遼寧

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
參考報(bào)價(jià):

面議

品牌:

科立恩

型號(hào):

HON-CO2-S/W/VVV系列二氧化碳純化器

關(guān)注度:

72

產(chǎn)品介紹

系列

Series

雜質(zhì)

Impurity

入口

Inlet(ppm)

出口

Outlet(ppb)

HON-CO2-S/W/VVV

O2

<3

<1

H2

<1

<1

CO

<1

<1

CH4

<0.5

--

H2O

<3

<1

揮發(fā)性酸VA

--

<0.005

揮發(fā)性堿VB

--

<0.5

耐熔化合物RC

--

<0.005

可冷凝有機(jī)物Corg

--

<0.15

不凝有機(jī)物Ncorg 

--

<1

Flow

10~3000Nm3/h

 

工藝介紹:

(1)使用特殊純化材料,通過(guò)物理和化學(xué)吸附方式脫除O2、CO、H2O、H2、揮發(fā)性酸VA、揮發(fā)性堿VB、耐熔化合物RC、可冷凝有機(jī)物Corg、不凝有機(jī)物Ncorg等雜質(zhì)。

(2)吸附反應(yīng)器吸附飽和后可通氫加熱再生,反復(fù)使用。

(3)多柱交替吸附、再生,可連續(xù)供氣。

 

應(yīng)用領(lǐng)域:

純化用于半導(dǎo)體應(yīng)用的二氧化碳

氣體行業(yè)


產(chǎn)品咨詢(xún)

HON-CO2-S/W/VVV系列二氧化碳純化器

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HON-CO2-S/W/VVV系列二氧化碳純化器 - 72
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