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HON-CO2-S/W/VVV系列二氧化碳純化器
面議
科立恩
HON-CO2-S/W/VVV系列二氧化碳純化器
72
系列 Series | 雜質(zhì) Impurity | 入口 Inlet(ppm) | 出口 Outlet(ppb) |
HON-CO2-S/W/VVV | O2 | <3 | <1 |
H2 | <1 | <1 | |
CO | <1 | <1 | |
CH4 | <0.5 | -- | |
H2O | <3 | <1 | |
揮發(fā)性酸VA | -- | <0.005 | |
揮發(fā)性堿VB | -- | <0.5 | |
耐熔化合物RC | -- | <0.005 | |
可冷凝有機(jī)物Corg | -- | <0.15 | |
不凝有機(jī)物Ncorg | -- | <1 | |
Flow | 10~3000Nm3/h |
工藝介紹:
(1)使用特殊純化材料,通過(guò)物理和化學(xué)吸附方式脫除O2、CO、H2O、H2、揮發(fā)性酸VA、揮發(fā)性堿VB、耐熔化合物RC、可冷凝有機(jī)物Corg、不凝有機(jī)物Ncorg等雜質(zhì)。
(2)吸附反應(yīng)器吸附飽和后可通氫加熱再生,反復(fù)使用。
(3)多柱交替吸附、再生,可連續(xù)供氣。
應(yīng)用領(lǐng)域:
純化用于半導(dǎo)體應(yīng)用的二氧化碳
氣體行業(yè)
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