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單片清洗設備

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盛美半導體設備(上海)股份有限公司

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產品規格型號
參考報價:

面議

品牌:

盛美半導體

型號:

單片清洗設備

關注度:

1212

產品介紹

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主要優勢

清洗藥液獨立控制,無交叉污染

噴嘴藥液流量精確控制系統

較低的使用成本

優秀的清洗效果

可應用不同種晶圓清洗工藝,*終清洗,外延前清洗,CMP后清洗

高產能

對小顆粒的管控和金屬管控能力,19納米顆粒增加值<=30顆,金屬污染<=5E7 atmos/cm2


特性和規格

可適用于6寸、8寸或12寸晶圓清洗

*多可配置8套清洗腔體

*多可配置5種藥液進行清洗工藝,RCA藥液,氫氟酸,臭氧水,去離子水等。

可對基板片,外延片的清洗工藝


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