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OpenLight 科研級晶圓缺陷檢測平臺

直接聯(lián)系

清軟微視（杭州）科技有限公司

浙江

產(chǎn)品規(guī)格型號

參考報價：

面議

品牌：

清軟微視

型號：

OpenLight 科研級晶圓缺陷檢測平臺

關(guān)注度：

產(chǎn)品介紹

OpenLight 是面向高校和科研院所，應(yīng)用于裸片、晶圓、芯片、器件等半導體各制程段產(chǎn)品的顯微觀測，是 AOI 算法、工藝驗證、光學實驗等應(yīng)用的研發(fā)利器
OpenLight 采用自主設(shè)計的超高速、大視野、高解析度的成像系統(tǒng)，集合無限遠光學系統(tǒng)主鏡筒、大功率全視野均勻照明系統(tǒng)、明場/暗場/DIC 多觀察方式、實時/擬合對焦系統(tǒng)等部分，提供穩(wěn)定顯微成像方案；運動系統(tǒng)使用大理石基臺配合獨立隔振器，保證高速運動下穩(wěn)定，消除對成像及檢測的干擾

主要技術(shù)參數(shù)：

項目	內(nèi)容
晶圓尺寸	4" / 6" / 8" / 12"
檢測相機	線陣：4k 128 線 TDI
Review 相機	面陣：彩色 1200 萬像素
鏡頭	2X / 5X / 10X / 20X
照明方式	高亮點光源反射式照明
對焦方式	硬件實時主動對焦
運動行程	X軸/Y軸/Z軸：350/400/50mm
整體尺寸	1300mm * 900mm * 1600mm

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OpenLight 科研級晶圓缺陷檢測平臺

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