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Mu 9660 封測段缺陷檢測設備

Mu 9660 封測段缺陷檢測設備

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清軟微視（杭州）科技有限公司

浙江

產品規格型號
參考報價：

面議

品牌：

清軟微視

型號：

Mu 9660 封測段缺陷檢測設備

關注度：

71

產品介紹

-多尺寸高精度缺陷檢測：支持6"/8"晶圓（含碳化硅/Si/LT等材質），厚度覆蓋150μm~1000μm；

-高吞吐設計：8英寸晶圓@2x鏡達54WPH，6英寸@2x鏡達100WPH；

-結合線陣掃描成像與實時對焦技術，確保成像清晰度與準確性＞95%

-缺陷疊圖分析：支持4次檢測結果坐標對齊及正/背面數據關聯，助力失效分析；


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Mu 9660 封測段缺陷檢測設備

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