粉體行業在線展覽
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氣浮轉臺
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深圳市博創新半導體裝備有限公司
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氣浮轉臺
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Machine features
該產品具有承載大、徑向和軸向剛度高、角剛度好、高度低的特點；同時由于其隔塵設計，更加適應生產加工環境。是各種高精度測量、光學測量組裝加工、芯片半導體測量加工、全物理仿真模擬設備等行業的**選擇。
Technical Parameter
| 項目 | AB-30 | AB-50R | AB-50 | AB-80 | AB-100 |
|---|---|---|---|---|---|
| 徑向剛度（N/μm） | 12.7 | 24.5 | 49 | 34.3 | 55.9 |
| 徑向度常用負載（N） | 25.4 | 49 | 98 | 68.6 | 111.8 |
| 徑向剛度極限負載（N/μm） | 31.8 | 61.3 | 122.5 | 85.8 | 139.8 |
| 軸向剛度（N/μm） | 19.6 | 35.3 | 35.3 | 205.8 | 323.4 |
| 軸向剛度常用負載（N） | 39.2 | 70.6 | 70.6 | 411.6 | 646.8 |
| 軸向剛度極限負載（N） | 49.0 | 88.2 | 88.2 | 514.5 | 808.5 |
| 徑向旋轉精度（μm） | 0.07 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 |
| 軸向旋轉精度（μm） | 0.04 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 |
| 極限旋轉轉速（rpm） | 30000 | 20000 | 22000 | 15000 | 10000 |
| 空氣消耗量（NI/min） | 4 | 6 | 12 | 8 | 10 |
| 慣性力矩（kg?㎡） | 1.23×10.5 | 1.92×10.4 | 2.47×10.4 | 1.32×10.3 | 4.85×10.3 |
| 質量(kg) | 0.3 | 1.5 | 2.3 | 3.9 | 8.5 |
| 項目 | AB-150 | AB-200 | AB-250 | AB-300 (受注生產) | AB-400 (受注生產) | AB-600 (受注生產) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 徑向剛度（N/μm） | 98 | 166.6 | 205.8 | 392 | 333.2 | 392 |
| 徑向度常用負載（N） | 196 | 333.2 | 411.6 | 784 | 666.4 | 784 |
| 徑向剛度極限負載（N/μm） | 245.0 | 416.5 | 514.5 | 980.0 | 833.0 | 980.0 |
| 軸向剛度（N/μm） | 558.6 | 705.6 | 1176 | 1234.8 | 1705.2 | 2400 |
| 軸向剛度常用負載（N） | 1117 | 1411 | 2352 | 2470 | 3410 | 9800 |
| 軸向剛度極限負載（N） | 1397 | 1764 | 2940 | 3087 | 4263 | - |
| 徑向旋轉精度（μm） | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.09 | 0.05 |
| 軸向旋轉精度（μm） | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.05 | 0.05 | 0.05 |
| 極限旋轉轉速（rpm） | 5000 | 3000 | 2500 | 1500 | 500 | 120 |
| 空氣消耗量（NI/min） | 15 | 20 | 35 | 40 | 40 | 100 |
| 慣性力矩（kg?㎡） | 2.98×10.2 | 6.00×10.2 | 2.77×10.1 | 6.3×10.1 | 1.30 | - |
| 質量（kg） | 22 | 39 | 77 | 110 | 153 | 580 |
