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超高精度減薄機

超高精度減薄機

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深圳市博創新半導體裝備有限公司

廣東

產品規格型號
參考報價:

面議

品牌:

博創新

型號:

超高精度減薄機

關注度:

17

產品介紹

Machine features

  • 本機器采用硅片自動旋轉研磨法的原理為:如圖a采用略大于硅片的工件轉臺,工件通過真空吸盤在工件轉臺中心,磨輪邊緣調整到工件的中心位置,工件和砂輪繞各自的軸線回轉,進行切入減薄,砂輪與工作的接觸長度、接觸面積、切入角不變,研磨力恒定、加工狀態穩定,可以避免工件出現中凸和塌邊現象。尤其對較薄的工件表現較為明顯。

  • 上、下研磨主軸均采用氣浮軸承結構,定子、轉子之間由于沒有機械軸承的摩擦力,磨損程度降到了*低,從而確保精度始終保持穩定。

  • 氣浮軸承阻力較低,允許較高的速度,并能同時保持較低的振動水平。

  • 氣浮主軸精確的、可重復的運動,使得表面光度達到了非常出色的程度。由于硬度是由貫穿軸承的、始終如一的空氣流提供的,轉子所經受的、來自外負載的作用力,在其旋轉時穩定的分布在所有點上。這一特性與磨削時產生良好的表面光度息息相關。

  • 底座采用鑄件加大理石,Z軸進給立柱采用大理石,提高機器整體剛性以及機器的穩定性。

Technical Parameter

項目5.5KW氣浮主軸11KW氣浮主軸5.5KW~15KW機械主軸
晶圓尺寸8寸12寸8寸~12寸
設備總功率8.5Kw13.5Kw9.5KW~15KW
額定轉速2000rpm2500rpm3000rpm
主軸額定功率5.5KW11KW5.5KW~15KW
**轉速3000rpm3000rpm5000rpm
氣壓5~7KG5~7KG--
重復定位精度≤2um
TTV≤2um≤2um≤3um
表面粗糙度Ra0.15(2000#)
設備尺寸(WXDXH)1260x1200x1950mm
設備重量約2.3t約2.5t約2.5t


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