粉體行業在線展覽
粉體行業在線展覽
M82 750B 6K
直接聯系
上海順心谷半導體科技有限公司
上海
面議
順心谷
M82 750B 6K
150
技術參數
| 項目 | 數據 |
| 設備型號 | M82 750B 6K |
| 操作系統 | SXG-MPCVD控制系統 |
| 微波頻率 | 2450MHz,輸出功率：6KW |
| 反應腔 | 承載功率≦10KW |
| 生長臺 | Φ2英寸 |
| 工作壓力 | 10-200Torr |
| 標準氣路 | 5路/6路（可定制） |
| 測溫系統 | 紅外測溫，測溫范圍300～1400℃ |
| 系統真空密封性（氦質譜撿漏） | <1×10-9 Torr.l/sec |
| 真空泵 | 17.1 m3/H |
| 設備尺寸 | 1500MM（長）*800MM（深）*1980MM（高） |
| 設備重量 | 490KG |
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