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M82 730 6K氣相沉積設備

M82 730 6K

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上海順心谷半導體科技有限公司

上海

產品規格型號
參考報價:

面議

品牌:

順心谷

型號:

M82 730 6K

關注度:

126

產品介紹

技術參數

項目數據
設備型號M82 730 6K
操作系統SXG-MPCVD控制系統
微波頻率2450MHz,輸出功率:6KW
反應腔承載功率≦10KW
生長臺Φ2英寸
工作壓力10-200Torr
標準氣路5路/6路(可定制)
測溫系統紅外測溫,測溫范圍300~1400℃
系統真空密封性(氦質譜撿漏)<1×10-9 Torr.l/sec
真空泵17.1 m3/H
設備尺寸主機:1500MM(長)*700MM(深)*1880MM(高)
電控柜:545MM(長)*765MM(深)*1740MM(高)
設備重量主機:375KG;電控柜:185KG

  公司位于上海青浦區,具備一流的潔凈生產車間和生產測試設備。我們有深厚的技術積累,核心團隊由德國歸國博士主導,研發團隊由業內尖端技術人員組成,與國內外多所大學及研發機構建立了長期戰略合作關系;我公司研發團隊與德國FM集團聯合攻關,以項目分工合作方式,在微波輸出功率不同(6KW及10KW)的情景下,以高科技的數字化手段模擬微波場的不同分布,實現定制適配器與真空腔體**結構的**結合,使得我們的新一代MPCVD設備性能更加優異;經過持續的技術研發,我們已在MPCVD行業技術領域具備一定知名度。我們立志**國內MPCVD行業,為所有合作方提供全方位的智能解決方案,并提供全面、專業的售后服務支持。

公司堅持“設備+工藝”的雙優發展方針,以設備優化工藝,以工藝反驅設備,形成產業鏈的閉環發展和雙向優化。

目前已研發出微波等離子化學氣相沉積系統,用于生產高等級和高純凈度的單晶合成金剛石;產品應用行業還可以跨越航空航天、半導體器件、光學、散熱器件、量子計算機、珠寶首飾等各個領域;我公司同時也從事微波等離子體技術的應用和開發,并致力于微波等離子體技術的成果轉化和產業化。

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M82 730 6K氣相沉積設備

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