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晶澳半導體減薄設備

減薄機

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晶澳太陽能科技股份有限公司

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減薄機

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產品介紹

設備介紹

本設備為全自動Φ200mm(替換卡盤可兼容Φ150mm)晶圓研磨設備,采用晶圓與砂輪分別自旋轉的加工原理,并配置有高精度核心功能部件,具有**的晶圓磨削質量;采用兩級晶圓傳輸機械手及高集成度的自動化裝置,整體設備結構緊湊,生產效率高。

晶澳團隊率先突破 SiC 龍頭企業減薄設備技術,打破海外壟斷。憑借 “技術銷售雙輪驅動”,把工藝經驗轉化為 “設備調試 + 參數優化” 一體化方案。通過全生命周期服務(覆蓋設備選型、工藝驗證、數據驅動良率提升)和24小時快速響應體系,贏得市場、客戶認可。團隊憑借多語言優勢緊跟國際技術,并通過“設備+專用耗材”生態鏈整合,持續鞏固在第三代半導體裝備領域的**地位。


目前設備加工能力TTV約2um, WTW±1um, 損傷層2.5um, 并將持續優化提升。 晶澳科技,未來可期!

  • 配置雙研磨主軸(粗/精可選),雙磨削卡盤工位;

  • 采用Infeed研磨法,配備IPG厚度測量,可在測量加工過程中晶圓的厚度;

  • 為了應對8寸SIC,砂輪主軸配置11Kw高輸出主軸電機;

  • 配備wafer前置/后置背面清洗;

  • 標配Φ250粗/精磨砂輪砥石。


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