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儀器簡(jiǎn)介：

應(yīng)用：

◆硅料

◆太陽(yáng)能

◆集成電路制造等

技術(shù)參數(shù)：

Semilab SDI設(shè)備主要用于硅片體內(nèi)的少數(shù)載流子壽命（擴(kuò)散長(zhǎng)）的監(jiān)測(cè)及定量定性檢測(cè)影響少數(shù)載流子的壽命（擴(kuò)散長(zhǎng)）的金屬污染（鐵、銅等）含量。設(shè)備由光路系統(tǒng)、信號(hào)分析及處理系統(tǒng)、數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)及自校準(zhǔn)系統(tǒng)（設(shè)備內(nèi)建有標(biāo)準(zhǔn)片）組成。

主要特點(diǎn)：

◆SPV(表面光電壓)- 硅片表面不需要做鈍化處理即可以做少數(shù)載流子壽命測(cè)試；

◆Surface Lifetime- 硅片淺層的少數(shù)載流子壽命檢測(cè)；

◆Surface Recombination – 硅片的表面復(fù)合測(cè)試；

◆SPV(表面光電壓)- 可測(cè)試硅片體內(nèi)的Fe及B02的含量；

◆設(shè)備的Multiple wafersize 功能可以兼容測(cè)試100mm-300mm的硅片及硅棒。