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激光直寫系統

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巨力科技有限公司

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產品介紹

儀器簡介:

歐洲先進的無掩膜激光直寫系統,*小線寬可達 100nm,為MEMS, BioMEMS, Micro Optics, ASICs, Micro Fluidics, Sensors, CGHs等以及相關微納米結構領域的科研工作者,提供強有力的手段!

技術參數:

加工線寬:*小可達 100nm;

主要特點:

多種曝光模式:

2D曝光模式:構建二維納米結構;

3D曝光模式:可加工三維納米結構;

壓電驅動平臺配合精密自動驅動平臺,具有更高的水平定位分辨率;

系統自動聚焦、糾斜、對準;

多功能試樣夾具;

快速樣品樣品更換:<1秒;

專業圖形設計軟件:支持導入CAD設計軟件,2D和3D隨意簡單設計;

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