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MDPinline是一種用于快速定量測量載流子壽命并集成掃描功能的檢測儀。通過工廠安裝的傳送帶將晶圓片移至儀器，在不到一秒的時間內，就可以“動態”測量出晶圓圖。該儀器可為每個晶圓片提供完整的拓撲結構，極大提高了生產線的成本效益和效率。且其實時質量檢測可以提高和優化諸如擴散和鈍化等處理步驟。

產品優勢▼

在不到一秒的時間內，可對一個晶圓片進行全電特性測試。測量參數：載流子壽命(拓撲圖)、電阻率(雙線掃描)。

在非常短的時間內獲得數以千計的晶圓片的統計信息可有效地幫助晶圓廠控制過程和生產。

適用于測量晶圓片的材料質量，以及識別晶圓片層面的結晶問題，例如在光伏行業。

適用于擴散過程的完整性控制、鈍化效率和均勻性控制。

Si3N4 and SiC segregates in multi-crystalline silicon

Microcrystalline inclusions

Investigation of passivation quality...

Cz-Si with bulk defects， separation...

Multicrystalline silicon wafers

技術參數