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德國(guó)弗萊貝格儀器Quatrz XRD——石英晶體X射線衍射儀主要應(yīng)用于對(duì)石英棒、硅片和坯料進(jìn)行生產(chǎn)質(zhì)量控制。而根據(jù)樣品對(duì)象的不同，Quatrz XRD可以分為Quatrz Bar XRD、Quatrz Wafer XRD和Quatrz Blank XRD，即全自動(dòng)石英棒定向儀、全自動(dòng)石英晶圓盤分析儀和全自動(dòng)石英晶片分選儀三種型號(hào)。

全自動(dòng)石英棒定向儀▼

樣品：石英棒

特點(diǎn)：

完全自動(dòng)化的吸收和校準(zhǔn)石英棒

自動(dòng)上膠轉(zhuǎn)接器板

校準(zhǔn)精度：±0.5°(AT & TF)

全自動(dòng)石英晶圓片分析儀▼

樣品：

圓形，長(zhǎng)方形和正方形

4 x 4毫米至80 x 80毫米(人工處理樣本)

20 x 20毫米至80 x 80毫米(自動(dòng)樣本處理)

特點(diǎn)：

空間質(zhì)量檢查的映射圖選項(xiàng)

模塊化設(shè)計(jì)，支持未來(lái)的自動(dòng)化升級(jí)

用于輸入/輸出的標(biāo)準(zhǔn)樣品盒：盒式或疊式

可用排序函數(shù)

產(chǎn)量：在標(biāo)準(zhǔn)分選精度下，可高達(dá)350片/小時(shí)

全自動(dòng)石英晶片分選儀▼

樣品：

圓形，長(zhǎng)方形和正方形

4 x 4毫米至12 x 12毫米(手工處理樣本)

1.5 x 1.5毫米至3.0 x 6.0毫米(自動(dòng)化選項(xiàng)一)

4.0 x 4.0 mm至9.0 x 9.0 mm(自動(dòng)化選項(xiàng)二)

特點(diǎn)：

質(zhì)量分組：±7.5 arcsec

吞吐量：在標(biāo)準(zhǔn)分揀精度下，每小時(shí)可處理高達(dá)1000個(gè)晶片