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美國 Filmetrics

美國Filmetrics公司出品的F20 膜厚測量儀，可快速簡便的測量透光薄膜的光學參數(n，k值)，可在幾秒內測量并分析薄膜的表層和底層的反射光譜得到膜厚，折射率參數。

軟件以及USB接口可輕易的將儀器與Window系統的電腦連接。軟件的數據庫預存100種以上材料的基本信息，利用這些已存信息可以測量多層結構，用戶還可以通過擬合測量將新材料的光學系數存入系統以備今后應用。

測量條件：

薄膜：平整，半透明，吸光薄膜。例如：SiO2 SiNX DLC、光刻膠、多晶硅無定形硅，硅片；

基底層：平整，反射基底。如需測量光學系數，則需要平整鏡面反射基底，如果基片是透光的，基片背面需要做反光處理。可用基底例如：硅片 玻璃 鋁、GaAs 鋼 聚碳酸脂、聚合物薄膜