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長*寬*高

626mm*552mm*380mm

605mm*595mm*632mm

輸出功率

1.0kW×2

1.25kW×2

輸出頻率

2450MHz±25MHz

2450MHz±25MHz

頻率誤差

±50ppm

±50ppm

微波泄露

≤2mW/cm2

≤2mW/cm2

供電電壓

AC220V±10%

AC220V±10%

供電頻率

50Hz±2Hz

50Hz±2Hz

進/出水口

1/8寶塔接頭

DN15

冷卻方式

水冷（1/8寶塔接頭，水流量≥2.5L/mi0)

水冷（1/8寶塔接頭，水流量≥2.5L/min)

控制接口

RS485通信協議

遠程通訊功能

工藝氣體

Ar、O2、H2、CF4等

Ar、O2、H2、CF4等

等離子處理面積

0.19m2

0.15m2