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電鍍?cè)O(shè)備

電鍍?cè)O(shè)備

直接聯(lián)系

盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司

美國

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

盛美半導(dǎo)體

型號(hào)：

電鍍?cè)O(shè)備

關(guān)注度：

1474

產(chǎn)品介紹

主要優(yōu)勢(shì)

脈沖局部電鍍技術(shù)

適用于超薄種子層

高產(chǎn)能

獨(dú)立模塊設(shè)計(jì)

低耗材成本COC和運(yùn)行成本COO











特性和規(guī)格

設(shè)備應(yīng)用于300毫米晶圓

*多可配至3個(gè)Load Port

*多可配至4個(gè)電鍍腔體配備脈沖局部電鍍功能

*多可配至4 個(gè)清洗腔體

*多可配至8個(gè)退火腔體

電鍍均一性:
　　　　　WIWNU  < 1.5%
　　　　　WTWNU < 1.5%


產(chǎn)品咨詢

電鍍?cè)O(shè)備

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盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司

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請(qǐng)?zhí)顚懩泥]箱：*

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