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>MX-SSG 8英寸半導(dǎo)體晶圓研磨設(shè)備

MX-SSG 8英寸半導(dǎo)體晶圓研磨設(shè)備

MX-SSG 8英寸半導(dǎo)體晶圓研磨設(shè)備

直接聯(lián)系

蘇州邁為科技股份有限公司

江蘇

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
參考報(bào)價(jià):

面議

品牌:

蘇州邁為

型號(hào):

MX-SSG 8英寸半導(dǎo)體晶圓研磨設(shè)備

關(guān)注度:

871

產(chǎn)品介紹

該設(shè)備用于4/6/8英寸半導(dǎo)體晶圓的減薄工藝。

設(shè)備優(yōu)勢(shì)

  • 01

    物料信息掃描錄入,F(xiàn)ab晶圓級(jí)搬運(yùn)手臂

  • 02

    雙高剛性氣浮主軸設(shè)計(jì),搭配自主研制的高目數(shù)磨輪,實(shí)現(xiàn)晶圓減薄功能

  • 03

    優(yōu)異的視覺(jué)檢測(cè)和定位系統(tǒng),可識(shí)別晶圓正反面,實(shí)現(xiàn)自動(dòng)定位補(bǔ)償,確保高精度定位

  • 04

    水封真空泵,真空穩(wěn)定,震動(dòng)小

  • 05

    完全自主設(shè)計(jì)的設(shè)備軟件,可視化操作管理,實(shí)時(shí)顯示和監(jiān)控關(guān)鍵加工信息

  • 06

    定制超高精密加工工位,性能**、震動(dòng)小

基本信息

  • 1. 適用產(chǎn)品:4/6/8 inch 半導(dǎo)體晶圓

  • 2. *終產(chǎn)品厚度:100μm

  • 3. 研磨速度:0.01μm/s-50μm/s

  • 4. 適用物料厚度≤1.8mm

  • 5. 加工品質(zhì):TTV≤2.5um,WTW士2.5μm,Ra≤0.08μm


產(chǎn)品咨詢

MX-SSG 8英寸半導(dǎo)體晶圓研磨設(shè)備

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