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MX-SSG 半導體晶圓研拋一體設備

MX-SSG 半導體晶圓研拋一體設備

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蘇州邁為科技股份有限公司

江蘇

產品規格型號
參考報價：

面議

品牌：

蘇州邁為

型號：

MX-SSG 半導體晶圓研拋一體設備

關注度：

660

產品介紹

該設備用于8英寸、12英寸半導體晶圓減薄、拋光工藝。

基本信息

  • 1. 適用產品：8/12inch 硅基晶圓減薄、拋光

  • 2. 可對應*薄產品：≥50μm(DBG工藝：≥25μm)

  • 3. 研磨速度：0.01μm/s~80μm/s

  • 4. 適用物料厚度：≤1.8mm

  • 5. 加工品質：TTV≤2.5μm，WTW 士2.5μm，Ra≤0.005μm


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