小型超高真空退火爐

真空室結構:

退火室為立式雙層水冷真空室，進樣室為臥式結構

真空室尺寸:

φ350mm

極限真空度:

≤6.67E-7Pa

沉積源:

無

樣品尺寸，溫度:

φ4英寸，1片，**1600℃

占地面積（長x寬x高）:

約3米x1.1米x2米

電控描述:

手動

工藝:

不含工藝

產品概述：
由退火腔，樣品庫，進樣室，加熱器，真空系統組成?？蓪崿F在10-5帕超高真空狀態下對工件退火1600℃

設備用途：
主要用于各類工件的退火;表面淬火件回火;焊件消除應力退火、時效等熱處理工藝。